Ionenunterstützte Abscheidung
Eine Methode zur Modifizierung von PVD Prozessen, Englisch Ion Assisted Deposition (IAD). Paralell zum Verdampfungsprozess werden beschleunigte Ionen angewendet. Besonders dichte und glatte Schichtsysteme sind mit dieser Technik möglich.
Mehr zur ionenunterstützten Abscheidung als Beschichtungstechnologie
