Elektronenstrahl-Verdampfung
Die Elektronenstrahl-Verdampfung (Englisch Electron Beam Evaporation (EBE)) ist ein Dünnschichtabscheidungsverfahren, bei dem ein fokussierter Elektronenstrahl auf das Verdampfungsmaterial gerichtet wird. Das Verdampfungsmaterial verdampft oder sublimiert daraufhin. Durch Verwendung mehrerer Tiegel in einer Beschichtungsanlage können unterschiedliche Materialien in einem einzigen Beschichtungsprozess aufgetragen werden.
